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产品详细
| 测量方向 | ±X ±Y +Z | |
| 更改位置 |
A轴手动（垂直方向）:0-90°（15°增量） B轴手动（水平方向）:±180°（15°增量） |
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| 重复定位精度 | σ≤1.5um | |
| 重复精度（2σ） | 0.35um以下（带标准测力10mm测针） | |
| 方向性（XY：2D） | ±0.8um以下（带标准测力10mm测针），±2.5um以下（带50mm测针） | |
| 方向性（XYZ：3D） | ±1um以下（带10mm测针），±4um以下（带50mm测针） | |
| 测力 | XY | 0.08N（标准测力）带10mm测针 0.1N（中等测力），带25mm测针 |
| Z |
0.75N（标准测力） 1.9N（中等测力） |
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| 超程范围 | XY | ±14° |
| Z | +4.0mm(标准测力） +3.7mm(中等测力） | |
| 超程测力 | XY |
0.2-0.3N(标准测力） 0.2-0.4N（中等测力） |
| Z |
3.5N(标准测力） 7N（中等测力） 10N（超大测力） |
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| 最大测针长度 | 50mm(标准测力） 60mm(中等测力） | |
| 测针安装方法 | M2螺纹 | |
| 单个装置的质量 | 250g | |
| 耐久性 | 1.000.000次 | |
| 测座 | 无 | |
| 适用的型号 | 手动/CNC三坐标测量机 | |
| 注 | 任何小于Ф1mm的测针应与低测力模块一起使用 | |
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